[发明专利]束流传输系统和方法有效
| 申请号： | 201480032687.5 | 申请日： | 2014-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN105264636B | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 陈炯;洪俊华;张劲;杰夫·贝克 | 申请（专利权）人： | 上海凯世通半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/21 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 薛琦 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种束流传输系统和方法，该束流传输系统包括引出装置(2)、质量分析磁铁(3)、发散元件(4)、准直元件(5)和变速转弯元件(6)，该质量分析磁铁(3)的分析面与束流(10)引出的会聚平面垂直，束流(10)在进入入口后在与分析面垂直的面中会聚于一会聚点处，再自该会聚点处发散并自出口传输至该发散元件(4)；该准直元件(5)用于在束流(10)的传输平面中平行化束流(10)；该变速转弯元件(6)用于在偏转束流(10)以使束流(10)的传输方向改变第一预设角度的同时使束流(10)变速以达到目标能量。通过多个束流光学元件的协同配合，得以在竖直平面中形成较宽的分布，从而能够适用于大尺寸晶片的加工，并且还能在避免能量污染的前提下保证较佳的注入均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 流传 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种束流传输系统，其包括离子源和引出装置，其特征在于，该引出装置用于从该离子源中引出会聚的束流，该束流传输系统还包括：一质量分析磁铁、一发散元件、一准直元件和设置于该准直元件下游的一变速转弯元件，该质量分析磁铁包括一入口和一出口，其中该质量分析磁铁的分析面与束流引出的会聚平面垂直，该质量分析磁铁用于在该分析面中偏转束流以使束流中不同质荷比的离子束在该分析面中形成不同的轨迹，其中束流在进入入口后在与分析面垂直的面中会聚于一会聚点处，再自该会聚点处发散并自出口传输至该发散元件；该发散元件用于在竖直平面内发散束流以使得束流在该竖直平面内发散至一预设宽度并将发散的束流传输至该准直元件，该竖直平面垂直于该分析面、且平行于该质量分析磁铁的出口处的束流的传输方向；该准直元件用于在束流的传输平面中平行化束流；该变速转弯元件用于在偏转束流以使束流的传输方向改变第一预设角度的同时使束流变速以达到目标能量。
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