[发明专利]适应于间接冷却装置的具有冷却板的靶有效
| 申请号： | 201480033082.8 | 申请日： | 2014-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN105283577B | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 徳尼斯·库拉珀夫;西格弗里德·克拉斯尼策尔 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人： | 何志欣 |
| 地址： | 瑞士普*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及一种靶冷却装置，其具有包括冷却通道的组成部分和另一个导热板，所述另一个导热板可分离地与所述组成部分的冷侧相连，其中，所述冷侧是所述冷却通道施展其作用的一侧，其特征是，在所述另一个导热板和所述组成部分的冷侧之间设有第一自粘碳膜，所述第一自粘碳膜大面积地自粘附到所述另一个导热板的朝向所述冷侧的一侧面上。 | ||
| 搜索关键词： | 适应 间接 冷却 装置 具有 | ||
【主权项】：
1.一种靶(801)冷却装置，其具有：组成部分(805)，其包括冷却通道(807)；和另一个导热板(803)，所述另一个导热板可分离地与所述组成部分的冷侧相连，其中，所述冷侧是所述冷却通道施展其作用的一侧，其特征是，在所述另一个导热板(803)与所述组成部分的冷侧之间设有第一自粘碳膜(811)，所述第一自粘碳膜(811)大面积自粘附到所述另一个导热板(803)的朝向所述冷侧的一侧面上，并且所述组成部分的将所述冷却通道与所述碳膜分隔开的壁是以软膜形式构成的。
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