[发明专利]测试系统中接触集成电路元件的方法在审
| 申请号： | 201480033901.9 | 申请日： | 2014-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN105283771A | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | K·克络斯 | 申请（专利权）人： | 罗斯柯公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/319 |
| 代理公司： | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人： | 刘祖芬 |
| 地址： | 德国科尔贝尔*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提供一种在用于测试集成电路元件的测试系统中接触集成电路元件的方法，其包括下列步骤：提供一包含惰性气体的气氛；以及使测试系统接触器的多个接触尖端与待测试的集成电路元件的多个个别接触区域进行接触，接触步骤在含有惰性气体的气氛中进行。本发明进一步提供用于测试集成电路元件的一测试系统，其包括用于提供含有惰性气体的气氛的构件；其中该测试系统被配置以使接触系统的接触器的多个接触尖端与待测试的集成电路元件的多个个别接触区域进行接触，且测试系统被配置以使在所提供的气氛中于操作条件下进行该接触。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 系统 接触 集成电路 元件 方法 | ||
【主权项】：
一种接触集成电路元件的方法，包括下列步骤：提供包含一惰性气体的一气氛(atmosphere)；以及使一接触基座的多个接触区域(特别是该接触基座的多个接触弹簧的多个接触区域)与待测试的一集成电路元件的多个个别的接触区域接触，该接触步骤在所提供包含该惰性气体的该气氛中进行。
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