[发明专利]扫描装置有效
申请号: | 201480035425.4 | 申请日: | 2014-06-20 |
公开(公告)号: | CN105324722B | 公开(公告)日: | 2017-08-08 |
发明(设计)人: | 乌尔里希·克鲁格;托马斯·德雷斯勒;斯特凡·海涅曼 | 申请(专利权)人: | 业纳光学系统有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G02B26/12;G02B27/00 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人: | 杨靖,车文 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种扫描装置,其包括光源(1)、具有多面镜(2.1)的扫描单元(2)、前置扫描光学件(3)和后置扫描光学件(4),其中,前置扫描光学件(3)前置于多面镜(2.1),使得来自光源(1)的射线束(1.1)在交叉扫描平面中以入射角(α)照射到多面镜(2.1)上,并且后置扫描光学件的光学轴线(4.0)沿多面镜(2.1)的反射方向布置。通过如下方式使在光源(1)成像到扫描线(5)上时出现的失真,即梯形失真和扫描弧最小化,即,后置扫描光学件(4)的柱镜(4.2)在交叉扫描平面中相对于多面镜(2.1)的面法线以第一倾斜角(β)倾斜,并且扫描光学件(4)的两个修正透镜中的一个(4.1.1、4.1.2)相对于后置扫描光学件的光学轴线(4.0)以第二倾斜角(γ)倾斜并且错开了间距(a)地布置。 | ||
搜索关键词: | 扫描 装置 | ||
【主权项】:
一种用于使射线束沿着扫描线成像的扫描装置,所述扫描装置包括:光源,所述光源射出具有轴线射线的射线束;扫描单元,所述扫描单元具有多面镜;以及沿所述轴线射线的方向前置于所述多面镜的前置扫描光学件;和沿所述轴线射线的方向后置于所述多面镜的后置扫描光学件,所述后置扫描光学件具有光学轴线,其中,所述前置扫描光学件前置于所述多面镜,使得所述射线束在交叉扫描平面中以入射角α照射到所述多面镜上,其特征在于,所述后置扫描光学件的光学轴线沿所述多面镜的反射方向布置,所述后置扫描光学件以沿所述轴线射线的方向依次布置的方式包括具有至少一个第一修正透镜和第二修正透镜的修正物镜、仅一个柱镜和柱透镜,所述柱镜在交叉扫描平面中相对于所述多面镜的面法线以第一倾斜角β倾斜,所述第一倾斜角β通过所述入射角α来确定,并且两个修正透镜中的一个修正透镜相对于所述后置扫描光学件的光学轴线以第二倾斜角γ倾斜并且错开了间距地布置。
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