[发明专利]光刻设备、用于光刻设备和方法中的定位系统有效
| 申请号： | 201480037053.9 | 申请日： | 2014-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN105339845B | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | R·M·韦斯特霍夫;H·L·哈根纳斯;U·舍恩霍夫;A·J·P·范恩格尔伦 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司;卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 提供了一种光刻设备，具有参考体(202)和定位系统(200)。所述定位系统(200)包括主体(204)；反作用体(206)；致动器(208)；以及控制器(210)。主体在第一方向(+z)和第二方向(‑z)上沿一路径相对于参考体能够移动。第一方向与第二方向相反。反作用体能够在第一方向和第二方向上沿另一个路径相对于主体移动。反作用体与参考体以能够移动的方式连接，以便能够在第一方向和第二方向上相对于参考体移动。控制器被设置为给致动器提供第一信号和第二信号。致动器被设置在主体和反作用体之间。 | ||
| 搜索关键词： | 反作用体 参考体 定位系统 光刻设备 致动器 控制器 移动 第二信号 方向相反 主体移动 | ||
【主权项】：
1.一种光刻设备，具有参考体(202)和定位系统(200)，所述定位系统(200)包括：主体(204)；反作用体(206)；致动器(208)；以及控制器(210)；其中主体(204)能够在第一方向(+z)和第二方向(‑z)上沿一路径相对于参考体(202)移动，其中第一方向(+z)与第二方向(‑z)相反，其中反作用体(206)能够在第一方向(+z)和第二方向(‑z)上沿另一个路径相对于主体(204)移动，其中反作用体(206)与参考体(202)以能够移动的方式连接，以便能够在第一方向(+z)和第二方向(‑z)上相对于参考体(202)移动，其中控制器(210)被设置为给致动器(208)提供第一信号和第二信号，其中致动器(208)被设置在主体(204)和反作用体(206)之间，并设置成在第一信号的控制下使主体(204)沿第一方向(+z)加速并使反作用体(206)沿第二方向(‑z)加速，并且设置成在第二信号的控制下使主体(204)沿第二方向(‑z)加速并使反作用体(206)沿第一方向(+z)加速，其中控制器(210)被设置为在给致动器(208)提供第一信号之后当反作用体(206)沿所述另一个路径在第二方向(‑z)上移动时给致动器(208)提供第二信号。
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