[发明专利]评估系统和用于评估基板的方法在审
| 申请号： | 201480037127.9 | 申请日： | 2014-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN105339799A | 公开（公告）日： | 2016-02-17 |
| 发明（设计）人： | Y·尤塞尔;R·纳夫塔利;O·阿丹;H·费尔德曼;O·施内尤;R·巴-奥;D·柯恩古特 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G01Q20/02 | 分类号： | G01Q20/02;G01Q60/06;G01B21/30 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 黄嵩泉 |
| 地址： | 以色列瑞*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 提供了评估系统，所述评估系统可包括空间传感器，所述空间传感器包括原子力显微镜(AFM)和固体浸没透镜。AFM布置成生成空间关系信息，所述空间关系信息指示固体浸没透镜与基板之间的空间关系。控制器布置成接收空间关系信息，并且将校正信号发送到至少一个位置校正元件，以便引入固体浸没透镜与基板之间的所需要的空间关系。 | ||
| 搜索关键词： | 评估 系统 用于 方法 | ||
【主权项】：
一种评估系统，所述评估系统包括：固体浸没透镜；多个空间传感器，所述多个空间传感器中的每一个空间传感器布置成生成空间关系信息，所述空间关系信息指示所述固体浸没透镜与基板之间的空间关系，其中，所述多个空间传感器包括多个原子力显微镜(AFM)；至少一个位置校正元件；控制器，所述控制器布置成接收所述空间关系信息，并且将校正信号发送到所述至少一个位置校正元件，以便引入所述固体浸没透镜与所述基板之间的所需的空间关系；以及支撑结构，所述支撑结构耦接至所述空间传感器、所述固体浸没透镜以及所述至少一个位置校正元件。
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