[发明专利]铜接合导线以及其制造方法有效
申请号: | 201480037851.1 | 申请日: | 2014-04-04 |
公开(公告)号: | CN105393352B | 公开(公告)日: | 2018-11-16 |
发明(设计)人: | 杨平熹;M.萨兰加帕尼;E.米尔克 | 申请(专利权)人: | 贺利氏材料新加坡私人有限公司 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;C22C9/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 申屠伟进;杜荔南 |
地址: | 新加坡*** | 国省代码: | 新加坡;SG |
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摘要: | 本发明涉及包括具有表面的芯的接合导线,其中所述芯包括铜作为主要成分,其中所述芯包括铜作为主要成分,其中在所述芯中的晶体颗粒的平均大小是在2.5μm与30μm之间,并且其中所述接合导线的屈服强度小于120 MPa。 | ||
搜索关键词: | 接合 导线 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种接合导线,包括:具有表面的芯(2),其中所述芯(2)是同质区段,其中所述芯(2)包括铜作为主要成分,其中在所述芯中的晶体颗粒的平均大小是在2.5μm与30μm之间,其中所述接合导线的屈服强度在50 MPa和120 MPa之间;并且其中所述接合导线的延伸值不大于最大延伸值的92%,其中所述最大延伸值是在恒定退火时间下所述延伸值相对于退火温度的退火曲线图中的局部最大值,其中所述接合导线在至少比通过在其处退火获得最大延伸值的温度高10℃的温度处退火;以及其中所述导线芯以在0.5%与3%之间的量含有钯;或其中所述导线芯以在45 ppm与900 ppm之间的量含有银;或其中所述导线芯以在45 ppm与900 ppm之间的量含有银并且以在0.5%与3%之间的量含有钯。
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