[发明专利]用于制备具有对称晶界的硅锭的方法在审
| 申请号： | 201480038777.5 | 申请日： | 2014-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN105378155A | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 戈蒂埃·福丁;瓦内萨·阿马拉尔·德·奥利韦拉;丹尼斯·卡梅尔;艾蒂安·皮昂 | 申请（专利权）人： | 原子能与替代能源委员会 |
| 主分类号： | C30B11/14 | 分类号： | C30B11/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋;杨生平 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制备具有对称晶界(6)的硅锭(5)的方法，其至少包括由以下组成的步骤：(i)提供具有纵向轴线(Z)的坩埚，其底部包括由具有正方形或长方形底部的单晶硅立方晶种形成的铺面并被连续放置；所述铺面，当根据轴线(Z)观察时，为平行于晶种边缘的正交方向(x)和(y)的网格形状；和(ⅱ)通过在与轴线(Z)共线的生长方向的晶种生长进行硅的受控凝固；其特征在于，步骤(i)中的所述铺面由相同的硅晶种制备，其中方向(x)上的两个连续晶种通过翻转轴线(y)互为映像且方向(y)上的两个连续晶种通过翻转轴线(x)互为映像，且两个连续晶种的结晶阵列之间的取向差2θ大于4°。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制备 具有 对称 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制造具有对称晶界(6)的硅锭(5)的方法，其至少包括由以下组成的步骤：(i)提供具有纵向轴线(Z)的坩埚(1)，其底部包括由具有正方形或长方形底部的直块形状的单晶硅晶种(2)形成的铺面；所述单晶硅晶种(2)被连续放置，沿着轴线(Z)看到的所述铺面呈具有平行于晶种边缘的正交方向(x)和(y)的网格形式；和(ⅱ)通过在与轴线(Z)共线的生长方向的在晶种上的再生长进行硅的定向凝固；其特征在于，步骤(i)中的所述铺面由相同的硅晶种制备，其中沿着方向(x)的两个相邻晶种通过轴线(y)上的翻转互为映像且沿着方向(y)的两个相邻晶种通过轴线(x)上的翻转互为映像，且两个相邻晶种的晶格之间的取向差2θ大于4°。
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