[发明专利]用于检查工件的方法和设备

摘要

一系列标称上相同的工件(10)接收自制造过程并在测量设备(10、16、20、40)上被测量。由于热量在该制造过程期间被引入，该工件是在非周围温度下被接收的，但是例如通过机器人(48)以可重复方式将该工件放置在该测量设备上，使得当被测量时，该工件的非周围温度是可重复的。在该非周围温度下将该工件(10)中的一个作为参考工件进行测量，并且将这些测量与从外部来源获得的校准值进行比较，以便生成误差映射或误差函数。该误差映射或误差函数用于校正在可重复的非周围温度下被测量的该系列中的后续工件(10)的测量。

主权项

1.一种测量一系列基本上或标称上相同的工件的方法，其中所述系列中的每个工件接收自制造过程并被放置在具有周围温度的测量设备上，所述方法包括：(a)在所述测量设备上将所述工件中的一个或者加工品作为参考工件进行测量，以产生所述参考工件的测量尺寸值，所述加工品具有多个特征，所述多个特征的大小和形状接近所述工件；(b)从在所述测量设备外部的来源获得尺寸值的校准值；以及(c)生成误差映射或查找表或误差函数，所述误差映射或查找表或误差函数使所述参考工件的测量尺寸值与对应的所述校准值相关；其中在步骤(a)中在不同于所述测量设备的周围温度的非周围温度下对所述参考工件进行测量，且在非周围温度下在步骤(c)中所述误差映射或查找表或误差函数使所述参考工件的测量尺寸值与对应的所述校准值相关；以及在步骤(a)中测量所述参考工件之前和/或之后，所述参考工件的温度保持在非周围温度。