[发明专利]真空泵在审
申请号: | 201480040478.5 | 申请日: | 2014-06-06 |
公开(公告)号: | CN105358835A | 公开(公告)日: | 2016-02-24 |
发明(设计)人: | 坂口祐幸 | 申请(专利权)人: | 埃地沃兹日本有限公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 刘林华;李婷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供能够不受到排出的气体流量的影响而只对出于防止生成物堆积的观点需要高温化的排气侧气体流路的固定零件集中地效率良好地加热、防止该加热所导致的排气侧气体流路上的生成物的堆积、以及谋求泵排气性能的提高的真空泵。真空泵具有可旋转地配置于泵座上的转子和将通过转子的旋转而吸入的气体引导至排气口的气体流路,而且,具备将构成气体流路整体中的排气侧气体流路的固定零件与除此以外的零件绝热的绝热机构、和对这样绝热的固定零件加热的加热机构。 | ||
搜索关键词: | 真空泵 | ||
【主权项】:
一种真空泵,具备泵座、配置于所述泵座上的转子、围绕其轴心可旋转地支撑并旋转驱动所述转子的支撑和驱动机构、以及将通过所述转子的旋转而吸入的气体引导至排出口的气体流路,在该真空泵中,具备将构成所述气体流路整体中的排气侧气体流路的固定零件与除此以外的零件绝热的绝热机构、和对通过所述绝热机构而绝热的所述固定零件加热的加热机构。
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