[发明专利]热式空气流量计

摘要

本发明的目的在于提供一种测量精度高的热式空气流量计，该热式空气流量计确保流量检测部的高的定位精度、并降低产生于LSI内的电阻的热应力的影响。因此，在具备通过将具备电阻(7)的LSI3与流量检测部(4a)以流量检测部(4a)的至少一部分露出的方式嵌入模制而构成的传感器部件(100)、具有副通路(305i、305o、305s)将流量检测部(4a)配置于副通路(305s)内并收纳传感器部件(100)的箱体(301)，传感器部件(100)由第一树脂模制成形，箱体(301)由第二树脂模制成形的热式空气流量计中，传感器部件(100)利用形成第二树脂固定于箱体(301)，具备相对于传感器部件(100)产生与流量检测部(4a)的露出面平行的方向的拉伸应力的树脂结构(20、21)。

主权项

1.一种热式空气流量计，具备：传感器部件，其通过将具备电阻的电路部与流量检测部以上述流量检测部的至少一部分露出的方式嵌入模制而构成；以及箱体，其具有副通路，将上述流量检测部配置于上述副通路内，并收纳上述传感器部件，上述传感器部件由第一树脂模制成形，上述箱体由第二树脂模制成形，该热式空气流量计的特征在于，上述传感器部件利用形成上述箱体的上述第二树脂固定于上述箱体，具备相对于上述传感器部件产生与上述流量检测部露出的面平行的方向的拉伸应力的树脂结构，上述树脂结构是使位于上述流量检测部相对于上述电路部露出的上述传感器部件的表面侧的树脂的体积与位于上述传感器部件的背面侧的树脂的体积不同的结构，上述拉伸应力通过上述树脂结构在上述传感器部件上产生弯曲变形而产生，上述电路部的电阻位于上述拉伸应力作用的部分，上述树脂结构是使与上述传感器部件的表面侧的表面接触的上述第二树脂的体积和与上述传感器部件的背面侧的表面接触的上述第二树脂的体积不同的结构。