[发明专利]总氧化性物质浓度的测定方法、基板清洗方法以及基板清洗系统有效
申请号: | 201480041784.0 | 申请日: | 2014-06-23 |
公开(公告)号: | CN105452845B | 公开(公告)日: | 2019-03-29 |
发明(设计)人: | 山川晴义 | 申请(专利权)人: | 栗田工业株式会社 |
主分类号: | G01N21/33 | 分类号: | G01N21/33;G01N21/27;H01L21/304 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 胡烨;董庆 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明为了能够在线监控清洗系统等的电解硫酸的总氧化性物质浓度,使用以与电解硫酸的硫酸浓度相同硫酸浓度的电解硫酸调制液为标准试料液、与总氧化性物质浓度关联且进行了基线修正的吸光度数据,将硫酸浓度为60~97质量%、液温为20~70℃的电解硫酸作为试料液,通过在波长190~290nm下测定吸光度而以所述数据为基础对所述电解硫酸中的总氧化性物质浓度进行测定,藉此能够迅速测定电解硫酸中总氧化性物质的浓度。 | ||
搜索关键词: | 电解硫酸 总氧化 硫酸 试料液 基板清洗系统 吸光度数据 基板清洗 基线修正 清洗系统 在线监控 调制液 吸光度 波长 液温 关联 | ||
【主权项】:
1.总氧化性物质浓度的测定方法,该方法是电解硫酸的总氧化性物质浓度的测定方法,其特征在于,使用以与所述电解硫酸的硫酸浓度相同硫酸浓度的电解硫酸调制液为标准试料液、与总氧化性物质浓度关联并进行了基线修正的吸光度数据,通过以硫酸浓度为60~97质量%、液温为20~70℃的化学平衡状态的电解硫酸为试料液,在波长190~290nm的条件下测定吸光度,以所述数据为基础对所述电解硫酸中的总氧化性物质浓度进行测定,其中,所述总氧化性物质包含过一硫酸、过二硫酸和过氧化氢,且其中,在化学平衡状态下,过一硫酸、过二硫酸和过氧化氢混合存在作为氧化性物质。
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