[发明专利]金属氧化物膜的制造方法和晶体管的制造方法有效
| 申请号： | 201480042219.6 | 申请日： | 2014-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN105408244B | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 中积诚;西康孝 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | C01B13/32 | 分类号： | C01B13/32;C01F7/30;C01G9/02;H01L21/283;H01L21/288;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/532 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 庞东成;褚瑶杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明目的在于提供一种有效得到密合性良好的金属氧化物膜的技术。本发明中的金属氧化物膜的制造方法特征在于，其具备：将含有有机金属络合物的溶液涂布于基板上的涂布工序；将得到的涂膜暴露于臭氧的臭氧暴露工序；对所述涂膜进行加热的加热工序。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 氧化物 制造 方法 晶体管 | ||
【主权项】：
1.一种金属氧化物膜的制造方法，其中，其具备：将含有有机金属络合物的溶液涂布于基板的涂布工序；将得到的涂膜暴露于臭氧的臭氧暴露工序；和在180度以下对所述涂膜进行加热的加热工序，在所述臭氧暴露工序之后，进一步具备使所述涂膜接触有机溶剂的清洗工序，在所述臭氧暴露工序中，将所述涂膜选择性地暴露于臭氧。
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