[发明专利]基板处理装置、基板处理方法、以及基板处理系统

摘要

第二基板处理装置的第二控制装置通过生成虚拟运送器，在基板搬入第二基板处理装置之前存储经由直接搬入口向第二基板处理装置搬入的该基板的位置信息。并且，第二控制装置基于预先存储的在第二基板处理装置外的基板的位置信息，在该基板搬入第二基板处理装置之前作成第二计划，该第二计划是将要经由直接搬入口向第二基板处理装置搬入的基板从第二基板处理装置的外部向第二基板处理装置的内部搬送的计划。

主权项

一种基板处理装置，对应于来自主计算机的任务生成指示来作成任务，基于该任务在规定的管理区内执行基板的搬送及/或处理，其特征在于，该基板处理装置与中间装置连接，该中间装置在第一基板处理装置的外部直接支撑由所述第一基板处理装置处理过的基板的状态下搬送该基板，该第一基板处理装置是在该基板处理装置之前的阶段处理基板的其他基板处理装置，该基板处理装置具有：直接搬入口，接受从所述中间装置搬入的基板，搬送单元，搬送要经由所述直接搬入口向所述基板处理装置搬入的基板，并在所述管理区内搬送基板，多个处理单元，对由所述搬送单元搬入的基板进行处理，控制装置，对所述基板处理装置进行控制；该控制装置执行：第一步骤，当从所述主计算机报告要由该基板处理装置处理的预定的基板位于所述第一基板处理装置时，将该基板的在所述第一基板处理装置的位置信息与该控制装置能够识别的虚拟运送器识别信息以及虚拟槽识别信息建立对应并存储，第二步骤，当从所述主计算机发出所述基板的任务生成指示时，使用所述虚拟运送器识别信息以及虚拟槽识别信息生成用于将所述基板在该基板处理装置进行搬送及/或处理的任务。