[发明专利]一种具有裂纹的导电薄膜的高灵敏度传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 201480042994.1 | 申请日： | 2014-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN105612588A | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 姜大植;崔瑢桓;李赞锡;徐甲亮;金泰一;崔万秀 | 申请（专利权）人： | 多次元能源系统研究集团;首尔大学校产学协力团;成均馆大学校产学协力团 |
| 主分类号： | H01B5/14 | 分类号： | H01B5/14;H01B13/00 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人： | 蔡晓红;柯夏荷 |
| 地址： | 韩国首尔冠岳*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有裂纹的高灵敏度传感器。本发明的高灵敏度传感器通过在形成于载体上的导电薄膜上形成细微裂纹获得，所述细微裂纹形成一个电性变化的微连接结构，形成短路或者开路产生电阻值的变化，从而将外界刺激转化为电信号。本发明的高灵敏度传感器能够有效的应用于位移传感器、压力传感器、振动传感器、人造皮肤、声音识别系统等。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 裂纹 导电 薄膜 灵敏度 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种高灵敏度传感器，其特征在于，包括：载体；形成于所述载体至少一面上的导电薄膜；所述导电薄膜包括裂纹，至少部分所述裂纹具有彼此部分接触的相对的裂纹面；在外界物理刺激下，所述相对的裂纹面相对移动，使所述相对的裂纹面的接触面积变化、或者使所述相对的裂纹面的接触断开‑再重新接触，引起所述导电薄膜的电阻变化，所述传感器通过检测所述电阻变化以测量所述外界物理刺激。
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