[发明专利]柔性复合材料、其制造方法及其用途在审
| 申请号： | 201480043126.5 | 申请日： | 2014-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN105658839A | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | H.马克;P.阿尔伯特;B.博鲁普;A.K.萨克塞纳 | 申请（专利权）人： | 赢创德固赛有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张华;林森 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及柔性复合材料，其包含给定上表面和下表面的塑料箔，以及通过等离子体增强热气相沉积直接施加到至少一个所述表面上并包含无机层气相沉积材料的至少一个针对气体和液体的介电阻隔层。该柔性复合材料可用于制造柔性电路或显示器，并对氧和/或水蒸气具有高阻隔效果。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 复合材料 制造 方法 及其 用途 | ||
【主权项】：
柔性复合材料，其包含给定了上表面和下表面的塑料箔，和至少一个直接施加在至少一个表面上的等离子体增强热气相沉积的针对气体和液体的介电阻隔层，所述介电阻隔层包含无机层气相沉积材料。
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