[发明专利]抛光新的或翻新的静电夹盘的方法

摘要

本发明的实施方式提供适于抛光静电夹盘的抛光环组件及使用的方法。在一个实施方式中，抛光环组件具有保持环组件及静电夹盘固定装置。该保持环组件包含内径及顶部表面、多个外部驱动环，其中所述多个外部驱动环被放置于陶瓷保持环的顶部表面上。该静电夹盘固定装置包含相邻于该陶瓷保持环的内径的静电夹盘驱动平板。该静电夹盘驱动平板具有闭锁以将保持环组件与静电夹盘固定装置固定，而不会经由该闭锁机制由一个组件传递重物跨至其他组件。

主权项

1.一种抛光环组件，包括：保持环组件，包括：陶瓷保持环，所述陶瓷保持环具有内径及顶部表面，多个外部驱动环，所述多个外部驱动环适于处在所述陶瓷保持环的所述顶部表面上，及静电夹盘固定装置，所述静电夹盘固定装置经配置以维持静电夹盘同时所述静电夹盘在抛光器上平坦化，所述静电夹盘固定装置包含：静电夹盘驱动平板，所述静电夹盘驱动平板相邻于所述陶瓷保持环的所述内径，其中所述静电夹盘驱动平板具有闭锁机制以将所述陶瓷保持环、所述多个外部驱动环及所述静电夹盘驱动平板固定在一起。