[发明专利]用于通过电磁辐射将结构从衬底分离的方法、堆叠和组件

摘要

该方法包括下列步骤：a)提供衬底(2)，b)在衬底(2)上形成吸收性的分离层(3)，c)在分离层(3)上形成待分离的结构(1)，d)通过衬底(2)使分离层(3)暴露于电磁辐射(IE)，使得分离层(3)在吸收所导致的热量的影响下分解，该方法的特征在于，其包括在分离层(3)上形成热障层(4)的步骤b1)，暴露时长和热障层(4)的厚度被调节为，使得待分离的结构(1)的温度在整个暴露期间保持在阈值之下，超过所述阈值时在所述结构(1)中容易出现缺陷。

主权项

1.一种通过属于一定的光谱范围的电磁辐射将结构(1)从衬底(2)分离的方法，该分离方法具有下列步骤：a)提供衬底(2)，该衬底(2)在所述光谱范围中是透明的，b)在衬底(2)上形成至少一个分离层(3)，将该电磁辐射的光谱范围调整为使得分离层(3)在所述光谱范围中是吸收性的，b1)在分离层(3)上形成热障层(4)，电磁辐射的光谱范围被调整为使得热障层(4)在所述光谱范围中是透明的，c)在热障层(4)上形成待分离的结构(1)，d)在给定功率密度下在暴露时段期间，使分离层(3)通过衬底(2)暴露于电磁辐射，使得分离层(3)在所述电磁辐射的吸收所导致的热量的影响下分解，该分离方法的特征在于，电磁辐射是电磁脉冲，并且暴露时段和热障层(4)的标记为E1的厚度：‑被调整为使得待分离的结构(1)的温度在暴露时段期间保持在阈值之下，在超过所述阈值时在所述结构(1)中会易于出现缺陷，‑符合下述关系：其中，D₁是热障层(4)的热扩散系数，τ是电磁脉冲的持续时间。