[发明专利]照明装置和曝光装置有效
| 申请号： | 201480044516.4 | 申请日： | 2014-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN105453218B | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 藤森昭芳;本多友彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社ORC制作所 |
| 主分类号： | H01L21/027 | 分类号： | H01L21/027;G01J1/42;G03F7/20;H05B37/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 照明装置具备：多个光源，它们分别发出照明光；光检测部，其配置在照明光学系统与被照射区域之间，对多个光源的总体照明光的照度/强度进行检测；以及照明控制部，其对多个光源分别进行发光控制，照明控制部使多个光源分别发出照度/强度按照与多个光源对应的各自不同的频率而变动的计测照明光，光检测部根据各自不同的频率，从叠加各光源的计测照明光而得到的总体计测照明光中，获得不包含各光源的变动的照明光的照度/强度。 | ||
| 搜索关键词： | 光源 照明光 计测 照度 照明控制部 光检测部 照明装置 照明光学系统 被照射区域 发光控制 曝光装置 叠加 检测 配置 | ||
【主权项】：
1.一种照明装置，其特征在于，该照明装置具备：多个光源，它们分别发出照明光；光检测部，其配置在照明光学系统与被照射区域之间，对所述多个光源的总体照明光的照度/强度进行检测；以及照明控制部，其对所述多个光源分别进行发光控制，所述照明控制部使所述多个光源分别发出照度/强度按照与所述多个光源对应的各自不同的频率而变动的计测照明光，所述光检测部根据各自不同的频率，从叠加各光源的计测照明光而得到的总体计测照明光中，获得不包含各光源的变动的照明光的照度/强度，所述多个光源分别利用交流电来发出照明光，所述照明控制部向各光源供给具有将基频和与该光源对应的特定频率叠加而得到的合成频率的交流功率，使所述各光源发出计测照明光。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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