[发明专利]垂直铁电场效晶体管构造

摘要

本发明揭示一种包括隔离芯的垂直铁电场效晶体管构造。过渡金属二硫属化物材料围绕所述隔离芯且具有1个单层到7个单层的侧向壁厚度。铁电栅极电介质材料围绕所述过渡金属二硫属化物材料。导电栅极材料围绕所述铁电栅极电介质材料。所述过渡金属二硫属化物材料从所述导电栅极材料立面向内及立面向外延伸。导电接触件直接抵靠所述过渡金属二硫属化物材料的侧向外侧壁，所述过渡金属二硫属化物材料为：a)从所述导电栅极材料立面向内，或b)从所述导电栅极材料立面向外。本发明还揭示额外实施例。

主权项

1.一种垂直铁电场效晶体管构造，其包括：隔离芯；过渡金属二硫属化物材料，其围绕所述隔离芯且具有1个单层到7个单层的侧向壁厚度；铁电栅极电介质材料，其围绕所述过渡金属二硫属化物材料；导电栅极材料，其围绕所述铁电栅极电介质材料，所述过渡金属二硫属化物材料从所述导电栅极材料立面向内及立面向外延伸；及导电接触件，其直接抵靠a)从所述导电栅极材料立面向内或b)从所述导电栅极材料立面向外延伸的所述过渡金属二硫属化物材料的侧向外侧壁。