[发明专利]液体钛氧化物组合物、用于形成所述组合物的方法和用于使用所述组合物蚀刻基材的或覆盖基材的材料层的方法在审
| 申请号： | 201480044622.2 | 申请日： | 2014-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN105658733A | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | H.X.徐;R.A.斯皮尔;R.Y.梁;L.M.梅廷;谢松元;Z.B.吴;J.肯尼迪 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | C09D1/00 | 分类号： | C09D1/00;C01G23/04;B01J13/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 赵苏林;徐厚才 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了液体钛氧化物组合物、用于形成此类组合物的方法和用于使用此类组合物蚀刻材料层的方法。依照一个示例性的实施方案，液体钛氧化物组合物包含溶剂体系、有机钛酸酯和具有约140℃至约400℃的沸点的高沸点溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 氧化物 组合 用于 形成 方法 使用 蚀刻 基材 覆盖 材料 | ||
【主权项】：
液体钛氧化物组合物，包含：溶剂体系；有机钛酸酯；和具有约140℃至约400℃的沸点的高沸点溶剂。
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