[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、半导体装置和抗蚀剂图案的形成方法有效
| 申请号： | 201480044926.9 | 申请日： | 2014-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN105474097B | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 岩下健一;加藤哲也;海老原雅彦 | 申请（专利权）人： | 日立化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;金鲜英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种感光性树脂组合物，其含有：(A)成分，具有酚羟基的树脂；(B)成分，具有羟甲基或烷氧基烷基的化合物；(C)成分，具有2个以上选自丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基、缩水甘油氧基和羟基中的1种以上官能团的脂肪族化合物；以及(D)成分，光敏性酸产生剂。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 元件 半导体 装置 抗蚀剂 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其含有(A)成分：具有酚羟基的树脂；(B)成分：具有羟甲基或烷氧基烷基的化合物；(C)成分：具有2个以上选自丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基、缩水甘油氧基和羟基中的1种以上官能团的脂肪族化合物；以及(D)成分：含有选自![]()
盐化合物、含卤素化合物、磺酸化合物、磺酰亚胺化合物、重氮甲烷化合物中的至少一种的光敏性酸产生剂。
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