[发明专利]一种电镀装置及传感装置有效
| 申请号： | 201480045566.4 | 申请日： | 2014-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN105473770B | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 山本渡;小岩仁子;本间敬之;柳沢雅広;齐藤美纪子;山本智之 | 申请（专利权）人： | 株式会社山本镀金试验器;学校法人早稻田大学 |
| 主分类号： | C25D17/08 | 分类号： | C25D17/08;C23C18/31;C25D21/12 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 董科 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种电镀装置(1)包括一固定部件(2)，固定电镀对象(W)；一垫片(4)，通过环绕于电镀对象(W)的环形的第一密封部件(3)堆叠于固定部件(2)上，且包含有一贯穿部件(45)，贯穿部件暴露电镀对象且储存了电镀液；以及一阳极部件(6)，通过环绕贯穿部件(45)的环形的一第二密封部件(3)堆叠于垫片(4)上，且包含一阳极溶层(62)，正对被暴露在贯穿部件(45)下的电镀对象(W)。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电镀 装置 传感 | ||
【主权项】：
一种电镀装置，包括：一固定部件，固定作为阴极的一电镀对象；一垫片，通过环绕于所述电镀对象的环形的第一密封部件堆叠于所述固定部件上，且包含一贯穿部件，贯穿部件暴露所述电镀对象且储存了电镀液；以及一阳极部件，通过环绕所述贯穿部件的环形的一第二密封部件堆叠于所述垫片上，且包含一阳极溶层，阳极溶层正对被暴露在所述贯穿部件下的所述电镀对象；其中，所述垫片包括一垫片主体，垫片主体由一绝缘层组成，以及一阳极侧导电层，阳极侧导电层设置于垫片主体的表面上，正对所述阳极部件，所述阳极部件包括一阳极部件主体，阳极部件主体由一绝缘层组成，以及一阳极溶层，阳极溶层设置于阳极部件主体的表面上，正对所述垫片组成的，所述阳极侧导电层与所述第二密封部件内的所述阳极溶层连接，以及所述阳极侧导电层与所述第二密封部件外的电源连接。
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