[发明专利]涂布于抗蚀剂图案的涂布液及反转图案的形成方法有效
| 申请号： | 201480045733.5 | 申请日： | 2014-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN105474103B | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 境田康志;坂本力丸;志垣修平 | 申请（专利权）人： | 日产化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;G03F7/32;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 孙丽梅;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的课题是提供能够用于代替以往的冲洗液、涂布于抗蚀剂图案的涂布液。本发明的解决方法是一种涂布于抗蚀剂图案的涂布液，包含聚合物和溶剂，所述聚合物的重均分子量为500～3500，且具有下述式(1)所表示的结构单元和下述式(2)所表示的结构单元，所述溶剂以水作为主成分， |
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| 搜索关键词： | 抗蚀剂 图案 涂布液 反转 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种涂布于抗蚀剂图案的涂布液，包含聚合物和溶剂，所述聚合物的重均分子量为500～3500，且具有下述式(1)所表示的结构单元和下述式(2)所表示的结构单元，所述溶剂以水作为主成分，![]()
式中，R1表示碳原子数1～8的有机基团。
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