[发明专利]辐射敏感树脂组合物、树脂膜及电子部件有效
| 申请号： | 201480046647.6 | 申请日： | 2014-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN105474096B | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 新藤宽明 | 申请（专利权）人： | 日本瑞翁株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 赵曦;刘继富 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种辐射敏感树脂组合物，其含有：粘合剂树脂(A)、醌二叠氮系的光产酸剂(B)、(甲基)丙烯酸酯化合物(C)及光聚合引发剂(D)。根据本发明，可提供能够获得对基材显示高密合性、且透明性、感光性及耐药品性优异的树脂膜的辐射敏感树脂组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射 敏感 树脂 组合 电子 部件 | ||
【主权项】：
1.一种辐射敏感树脂组合物，其含有：具有质子性极性基团的环状烯烃开环聚合物(A1)、醌二叠氮系的光产酸剂(B)、(甲基)丙烯酸酯化合物(C)、以及光聚合引发剂(D)。
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