[发明专利]纯水的制造方法及装置

摘要

提供一种使来自紫外线氧化装置的紫外线氧化处理水与铂族金属负载催化剂树脂接触以制造纯水的方法及装置，其能够防止催化剂树脂的劣化，并且经过长时间也能稳定并分解处理过氧化氢。将被处理水用紫外线氧化装置(2)进行紫外线氧化处理后，再通过使用铂系催化剂的过氧化氢去除装置(4)进行过氧化氢去除处理的纯水制造方法及装置中，使向该紫外线氧化装置(2)的给水的TOC为5ppb以下，并且在紫外线氧化装置(2)的后段设置阴离子交换树脂塔(3)。

主权项

1.一种超纯水的制造方法，其在超纯水制造装置中进行，该超纯水制造装置具备一次纯水制造装置和二次纯水制造装置，并且在所述二次纯水制造装置中得到的超纯水被送到使用点，从所述使用点返回的剩余的超纯水与来自所述一次纯水制造装置的一次纯水的混合水作为被处理水，在所述二次纯水制造装置中进行处理，其中，在所述二次纯水制造装置中，在将被处理水用紫外线氧化装置进行紫外线氧化处理后，再通过使用铂系催化剂的过氧化氢去除装置进行过氧化氢去除处理，所述铂系催化剂，是将铂系金属的胶体粒子负载在阴离子交换树脂上的催化剂，使向所述紫外线氧化装置的给水的TOC为5ppb以下，向所述紫外线氧化装置的给水的无机碳酸离子浓度为小于1ppb，并且通过该紫外线氧化装置处理过的紫外线氧化处理水的无机碳酸离子浓度为1ppb以上。