[发明专利]自带散热器的功率模块用基板及其制造方法

摘要

本发明中将散热器的最大长度设为L、散热器的翘曲量设为Z，相对于金属层使散热器的接合面成为凹状的变形所造成的翘曲量Z设为正值、使接合面成为凸状的变形所造成的翘曲量Z设为负值，并在25℃下测定的最大长度L与翘曲量Z的比率Z/L在‑0.005以上且0.005以下的范围内，加热至280℃时及在该加热后冷却至25℃时，比率Z/L仍在‑0.005以上且0.005以下的范围内。

主权项

一种自带散热器的功率模块用基板，其特征在于，具备：功率模块用基板，在陶瓷基板的一个面配设有电路层，在所述陶瓷基板的另一个面配设有由纯度99％以上的铝构成的金属层；及散热器，接合于所述功率模块用基板的所述金属层，并由屈服应力比该金属层大的铝合金构成，将所述散热器的最大长度设为L、所述散热器的翘曲量设为Z，相对于所述金属层使所述散热器的接合面成为凹状的变形所造成的所述翘曲量Z设为正值、使所述接合面成为凸状的变形所造成的所述翘曲量Z设为负值，并在25℃下测定的所述最大长度L与所述翘曲量Z的比率Z/L在‑0.005以上且0.005以下的范围内，加热至280℃时及在该加热后冷却至25℃时，所述比率Z/L仍在‑0.005以上且0.005以下的范围内。