[发明专利]用于PVD涂层设备的蒸发器体以及制备这种蒸发器体的方法有效
| 申请号： | 201480050210.X | 申请日： | 2014-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN105555993B | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | R.K.格劳;R.恩古梅尼亚皮;H.J.施韦格 | 申请（专利权）人： | 肯纳金属公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C04B41/87 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 侯宇 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于PVD涂层设备的蒸发器体(2)，所述蒸发器体包括基体(4)，所述基体(4)具有蒸发器表面(6)，在所述蒸发器表面(6)上涂覆有铝钛润湿层(12)。在此，所述基体(4)在供货状态下涂覆有包含两种反应物尤其包含铝和氢化钛的涂层(16)，所述两种反应物在所述基体(4)的加热时形成所述润湿层(12)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 pvd 涂层 设备 蒸发器 以及 制备 这种 方法 | ||
【主权项】：
一种用于PVD涂层设备的蒸发器体(2)，所述蒸发器体(2)具有基体(4)，所述基体(4)包括氮化硼和二硼化钛并具有蒸发器表面(6)，其中，在所述蒸发器表面(6)上涂覆有包含由氢化钛构成的第一反应物和由铝或含铝的基质构成的第二反应物的涂层(16)，并且所述两种反应物在加热时形成铝钛润湿层(12)。
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