[发明专利]基板检查时的补偿矩阵生成方法有效
| 申请号： | 201480050260.8 | 申请日： | 2014-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN105557082B | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 郑升源;崔钟镇;柳希昱 | 申请（专利权）人： | 株式会社高永科技 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及基板检查时的补偿矩阵生成方法。所述方法包括：在基板上的测量区域(FOV)内，任意选择预先设置的N1(N1≥2)个特征客体的信息的步骤；以所述基板上的提取的特征客体的信息为基础，生成第一补偿矩阵的步骤；把所述测量区域内的所有特征客体应用于所述补偿矩阵，并比较所述所有特征客体的各个偏移值与预先设置的基准值，从而对所述所有特征客体的各个偏移值不足于所述预先设置的基准值的特征客体的数量进行计数的步骤；把所述步骤反复执行N2次(N2≥1)，在所述计数的特征客体的数量为最大的情况下，利用具有不足于所述预先设置的基准值的偏移值的特征客体的信息，生成第二补偿矩阵的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 补偿 矩阵 生成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板检查时的补偿矩阵生成方法，其中，包括：在基板上的测量区域(FOV)内，任意选择预先设置的N1(N1≥2)个特征客体的信息的步骤；以所述基板上的选择的特征客体的信息为基础，生成第一补偿矩阵的步骤；把所述测量区域内的所有特征客体应用于所述补偿矩阵，并比较所述所有特征客体的各个偏移值与预先设置的基准值，从而对所述所有特征客体的各个偏移值不足于所述预先设置的基准值的特征客体的数量进行计数的步骤；把所述步骤反复执行N2次，在所述计数的特征客体的数量为最大的情况下，利用具有不足于所述预先设置的基准值的偏移值的特征客体的信息，生成第二补偿矩阵的步骤，其中N2≥2。
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