[发明专利]为使沉积留存增加而用于表面纹理化的几何形状和图案

摘要

提供一种处理腔室部件和用于制造所述处理腔室部件的方法。所述处理腔室部件以在此描述的方式制造，并包括在腔室部件的表面上至少一宏观纹理的产生。所述宏观纹理由多个经设计的特征结构所限定，所述经设计的特征结构在腔室部件的表面上以预定方向布置。在某些实施方式中，这些经设计的特征结构避免在这些特征结构之间限定的视线表面的形成，以增强在腔室部件上沉积的膜留存。

主权项

1.一种物件，所述物件具有经图案化的表面以增强沉积膜的留存，所述物件包括：处理腔室部件，所述处理腔室部件具有一个或更多个经设计的特征结构所形成的宏观纹理化表面，所述一个或更多个经设计的特征结构被布置成避免跨越所述宏观纹理化表面形成视线表面，其中所述宏观纹理化表面包括一个或更多个结构，所述一个或更多个结构包括：顶表面；和突出结构，所述突出结构具有圆形边缘，所述突出结构沿着所述一个或更多个结构的侧壁设置，其中所述突出结构始于所述一个或更多个结构的顶表面，并且在所述一个或更多个结构的每一个的所述顶表面的中央区域内形成凹槽，所述凹槽位于所述突出结构径向向内。