[发明专利]检查系统

摘要

通过全部进行电特性检查，对光学特性进行抽样检查，从而能够进行更加稳定的等级划分，使生产品质良好。具有作为控制部的CPU(2)，其基于光学特性检查部(7)对每规定数量的发光元件进行抽样检查而使抽样检查部(21)收集的发光元件的光学特性值、检查插补部(23)基于光学特性检查部(7)抽样检查到的多个光学特性值通过插补运算求出的未检查的发光元件的光学特性值、和DC检查部(8)对晶片整个面的多个发光元件全部检查电特性(DC特性)而使合格与否判断部(22)判断出的合格与否信息(合格品/不合格品信息)合成而得到的图像信息，控制等级划分部(24)制作对每等级的发光元件组进行等级划而得的信息。

主权项

1.一种检查多个发光元件的光学特性和电特性的检查系统，其特征在于：具有控制部，该控制部基于合成以下数据而得到的信息来控制制作关于每个等级的发光元件组的信息：对每规定数量的发光元件进行抽样检查而得到的多个发光元件的光学特性值；基于该抽样检查得到的多个光学特性值，通过插补运算求出的未检查的多个发光元件的光学特性值；和对基板整个面的多个发光元件全部检查该电特性而得到的合格与否信息以及各个电特性值，所述控制部包括：抽样检查部，其收集对每规定数量的发光元件进行抽样检查而得到的多个发光元件的光学特性值；检查插补部，其使用规定的插补法，基于该抽样检查得到的多个发光元件的光学特性值，求出未进行该抽样检查的未检查的多个发光元件的光学特性值；合格与否判断部，其分别进行对基板整个面的多个发光元件全部检查而得到的多个所述电特性的合格与否判断，获得该多个电特性的合格与否信息；和等级划分部，其基于将该抽样检查部收集的多个发光元件的光学特性值、该检查插补部求出的未检查的多个发光元件的光学特性值、该多个电特性的合格与否信息和各个电特性值合成而得到的图像信息，制作所述关于每个等级的发光元件组的信息，在所述发光元件的电特性的全部检查中进行多个发光元件的同时测量，所述等级划分部根据所述抽样检查部收集的光学特性值和所述检查插补部求出的光学特性值，获得除去与电特性的不合格数据对应的光学特性值后的光学特性值，对具有该光学特性值的发光元件进行等级划分，在所述基板设定包含规定数量的发光元件的单位抽样区域和与所述单位抽样区域相邻且包含规定数量的发光元件的相邻区域，基于所述抽样检查部收集的所述单位抽样区域内的发光元件的光学特性值相对于所述抽样检查部收集的所述相邻区域内的发光元件的光学特性值的比率，判断所述抽样检查部收集的所述单位抽样区域内的发光元件的光学特性值是否需要校正，在所述抽样检查部收集的所述单位抽样区域内的发光元件的光学特性值相对于所述抽样检查部收集的所述相邻区域内的发光元件的光学特性值的比率小于规定基准值的情况下，所述检查插补部使用所述抽样检查部收集的所述相邻区域内的发光元件的光学特性值，对所述单位抽样区域内的发光元件的光学特性值进行校正，基于校正后的所述光学特性值，求出所述抽样检查部未检查的所述单位抽样区域内的发光元件的光学特性值。