[发明专利]生产氢气检测传感器的方法和所得传感器有效
申请号: | 201480054023.9 | 申请日: | 2014-09-29 |
公开(公告)号: | CN105745529B | 公开(公告)日: | 2019-09-10 |
发明(设计)人: | 吉列尔莫·埃斯皮诺萨鲁达;诺拉·马汀兹桑斯;阿古斯丁·罗德里格斯冈萨雷斯艾力皮;佩德罗·卡斯蒂列罗杜兰;安赫尔·巴兰科科洛;弗朗西斯科·于贝洛瓦林西亚;胡安佩德罗·埃斯皮诺斯曼左拉;何塞·可迪诺包蒂斯塔;弗朗西斯科·加西亚加西亚 | 申请(专利权)人: | 阿本果太阳能新技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/78 | 分类号: | G01N21/78;G01N33/22;C23C14/10;C23C14/35 |
代理公司: | 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 | 代理人: | 刘云贵 |
地址: | 西班牙塞维利亚市太阳*** | 国省代码: | 西班牙;ES |
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摘要: | 本发明涉及一种生产视觉氢气传感器的方法和以此方式生产的传感器,所述传感器允许由于所述传感器中的颜色变化而通过肉眼检测介质中氢气的存在。所述方法涉及沉积氧化物的多孔薄层,其在经部分还原时变得着色的完全氧化状态下不吸收可见光。此沉积使用呈掠射角构形(GLAD)的气相沉积(PVD)进行。所述方法还涉及制备能够使氢气分子和载体解离的活性金属前体溶液和在所述氧化层上沉积此溶液以在所述氧化层的孔隙内并入最小量纳米粒子形式的活性金属。 | ||
搜索关键词: | 生产 氢气 检测 传感器 方法 所得 | ||
【主权项】:
1.一种生产氢气检测传感器的方法,其特征在于其包含以下阶段:阶段1,使用80°的沉积角的磁控溅镀技术在石英衬底上进行作为活性氧化物的WO3的层的沉积,以此测量从垂直于所述衬底到垂直于磁控靶的方向;阶段2,进行具有作为活性金属的铂核心(Pt)的卟啉和1%重量浓度的PMMA于二氯甲烷中的10‑3M溶液的制备;阶段3,使用旋涂法进行阶段2中制备的所述溶液在阶段1中制备的所述活性氧化物的多孔层的表面上的所述沉积;阶段4,使用沉积在所述活性氧化物的多孔层上的所述溶液在350℃下的热处理进行所述活性金属(Pt)在所述活性氧化物的多孔层的孔隙中的包含。
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