[发明专利]溅射装置以及溅射装置的膜卷的更换方法在审
| 申请号： | 201480054037.0 | 申请日： | 2014-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN105593402A | 公开（公告）日： | 2016-05-18 |
| 发明（设计）人： | 梨木智刚;滨田明 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 对于用于在膜上连续地形成薄膜的溅射装置而言，在更换膜卷时，不将成膜室向大气开放，而且不使真空泵停止。供给侧膜卷室(11)具有供给侧真空泵(17)和供给侧主阀(34)。收纳侧膜卷室(13)具有收纳侧真空泵(28)和收纳侧主阀(35)。在供给侧膜卷室(11)和成膜室(12)之间设置有供给侧加载互锁阀(30)。在收纳侧膜卷室(13)和成膜室(12)之间设置有收纳侧加载互锁阀(31)。在更换供给侧膜卷(36)之际，将供给侧主阀(34)和供给侧加载互锁阀(30)关闭。在更换收纳侧膜卷(37)之际，将收纳侧主阀(35)和收纳侧加载互锁阀(31)关闭。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 装置 以及 更换 方法 | ||
【主权项】：
一种溅射装置，其特征在于，该溅射装置具有：供给侧膜卷室，其具有膜供给机构；供给侧真空泵，其用于对所述供给侧膜卷室进行排气；供给侧主阀，其能够将所述供给侧膜卷室和所述供给侧真空泵之间气密地密封；收纳侧膜卷室，其具有膜收纳机构；收纳侧真空泵，其用于对所述收纳侧膜卷室进行排气；收纳侧主阀，其能够将所述收纳侧膜卷室和所述收纳侧真空泵之间气密地密封；成膜室，其具有成膜辊、与所述成膜辊相对的靶材以及支承所述靶材的阴极；供给侧加载互锁阀，其设置在所述供给侧膜卷室和所述成膜室之间；收纳侧加载互锁阀，其设置在所述收纳侧膜卷室和所述成膜室之间。
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