[发明专利]光学模块

摘要

光学模块(1A)包括：半导体基板(2)；静电致动器(10)，其具有固定部(11)和可动部(12)，该固定部(11)固定在半导体基板(2)，该可动部(12)通过在与固定部(11)之间产生的静电力相对于固定部(11)移动；第一弹簧部(20)，其与可动部(12)连接，具有第一弹簧常数K1；第二弹簧部(30)，其连接至第一弹簧部(20)与半导体基板(2)之间，具有比第一弹簧常数K1大的第二弹簧常数K2；可动反射镜(5)，其是连接至第一弹簧部(20)与第二弹簧部(30)的连接部(13)的光学部件，由此实现能够使用静电致动器、稳定且高精度地使光学部件动作的光学模块。

主权项

1.一种光学模块，其特征在于，具备：半导体基板；静电致动器，具有固定于所述半导体基板的固定部、以及通过在与所述固定部之间产生的静电力相对于所述固定部移动的可动部；第一弹簧部，连接于所述可动部，并具有第一弹簧常数；第二弹簧部，连接于所述第一弹簧部与所述半导体基板之间，并具有比所述第一弹簧常数大的第二弹簧常数；光学部件，连接于所述第一弹簧部与所述第二弹簧部的连接部；以及控制部，其检测所述固定部与所述可动部之间的静电电容，并根据该检测结果向所述固定部与所述可动部之间施加驱动电压，由此控制所述光学部件的移动距离，所述可动部、所述第一弹簧部、所述第二弹簧部和所述光学部件在所述半导体基板一体地形成，所述光学部件相对于所述半导体基板平行地被驱动，所述第一弹簧部具有固定有所述可动部的一端、以及成为所述连接部的另一端，所述第二弹簧部具有成为所述连接部的一端、以及固定于所述半导体基板的另一端。