[发明专利]研磨装置以及研磨方法在审
申请号: | 201480054424.4 | 申请日: | 2014-10-02 |
公开(公告)号: | CN105658377A | 公开(公告)日: | 2016-06-08 |
发明(设计)人: | 森永均;浅野宏;大月伸悟;玉井一诚 | 申请(专利权)人: | 福吉米株式会社 |
主分类号: | B24B19/08 | 分类号: | B24B19/08;B24B9/00 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的课题在于提供一种能够对具有各种形状的被研磨加工物进行研磨的研磨装置以及研磨方法。研磨装置包括:马达移动机构(33),其用于使被研磨加工物(K)沿着研磨构件(10)的径向上的外周面的切线方向移动的同时使被研磨加工物(K)沿着与研磨构件(10)的旋转轴线正交的方向移动;第2马达(30),其用于使被研磨加工物(K)旋转。 | ||
搜索关键词: | 研磨 装置 以及 方法 | ||
【主权项】:
一种研磨装置,其是用于对被研磨加工物进行研磨的装置,其特征在于,该研磨装置包括:研磨构件,其具有与所述被研磨加工物的被研磨部的形状相匹配的形状的研磨面;以及移动机构,其用于使所述被研磨加工物和所述研磨构件中的至少一者沿着所述研磨构件的径向上的外周面的切线方向移动。
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