[发明专利]用于实现电介质与有机材料之间的良好粘附的方法有效
| 申请号： | 201480054613.1 | 申请日： | 2014-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN105593157B | 公开（公告）日： | 2018-03-20 |
| 发明（设计）人： | 迈克·雷诺 | 申请（专利权）人： | 卡文迪什动力有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙)11413 | 代理人： | 谢攀,刘继富 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明总体涉及形成MEMS器件的方法以及通过该方法形成的MEMS器件。在形成MEMS器件时，在腔体内围绕开关元件沉积牺牲材料。所述牺牲材料最终被移除以释放腔内的开关元件。所述开关元件具有在其之上的薄介电层以阻止蚀刻剂与该开关元件的导电材料相互作用。在制造过程期间，介电层被沉积在牺牲材料之上。为了确保介电层和牺牲材料之间的良好粘附，在将介电层沉积在牺牲材料上之前在牺牲材料上沉积富含硅的氧化硅层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 实现 电介质 有机 材料 之间 良好 粘附 方法 | ||
【主权项】：
一种形成MEMS器件的方法，其包括：在电极之上沉积基于有机物的牺牲层；在所述基于有机物的牺牲层之上沉积富硅层，其中所述富硅层的硅含量大于化学计量的硅层的硅含量；在所述富硅层之上沉积介电层；在所述介电层之上形成可移动板；以及移除牺牲层。
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