[发明专利]热敏感层气体传感器

摘要

本发明涉及一种具有热敏感层的传感器，包括：承载敏感层(12)的绝缘基底(10)；采用被配置为与敏感层(12)电接触的两个相邻的导电道形式的两个互补测量电极(E1、E2)；以及采用被布置在基底上的用于均匀加热敏感层的有源区的电阻道的形式的加热元件(14)。电阻道(14')包括至少三个超过电阻道长度的匀称间隔的电力供应点，且为每个位列偶数的点供应第一电源电压(0)，而为每个位列奇数的点供应第二电源电压(Vh')。

主权项

1.一种热敏感层传感器，包括：绝缘基底，承载敏感层；以两个相邻导电道的形式的两个互补测量电极，被配置为与所述敏感层电接触；以及以电阻道的形式的加热元件，被布置在所述基底上，用于均匀加热所述敏感层的有源区；其中所述电阻道包括至少三个沿所述电阻道长度匀称间隔的电力供应点，且每个位列奇数的点由相同的第一电源电压供电，而每个位列偶数的点由相同的第二电源电压供电。