[发明专利]用于将多个薄的固体层与厚的固体分离的组合制造方法在审
| 申请号： | 201480055767.2 | 申请日： | 2014-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN105899716A | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 沃尔弗拉姆·德雷舍尔;扬·黎克特 | 申请（专利权）人： | 西尔特克特拉有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B33/06 | 分类号： | C30B33/06;B23K26/00;B28D1/22;H01L21/762 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 丁永凡;周涛 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造固体层的方法。制造方法至少包括下述步骤：提供用于分离多个固体层(4)的固体(2)；在固体(2)中引入或产生缺陷，用于预设第一剥离平面(8)，沿着所述第一剥离平面将第一固体层(4)与固体(2)分离；设置容纳层(10)，用于将固体层(4)保持在固体(2)上；热加载容纳层(10)用于在固体(2)中尤其机械地产生应力，其中裂缝通过应力在固体(2)中沿着剥离平面(8)扩展，所述裂缝将第一固体层(4)与固体(2)分离；接着设置第二容纳层用于将另一固体层(5)保持在减小了第一固体层(4)的固体(2)上；在固体(2)中引入或产生缺陷，用于预设第二剥离平面(9)，沿着所述第二剥离平面将第二固体层(5)与固体(2)分离；热加载第二容纳层用于在固体(2)中尤其机械地产生应力，其中裂缝通过应力在固体(2)中沿着第二剥离平面(9)扩展，所述裂缝将第二固体层(5)与固体(2)分离。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 将多个薄 固体 分离 组合 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制造固体层的方法，所述方法至少包括下述步骤：提供用于分割多个固体层(4)的固体(2)；在所述固体(2)中引入或产生缺陷，用于预设第一剥离平面(8)，沿着所述第一剥离平面将第一固体层(4)与所述固体(2)分离；设置容纳层(10)，用于将所述固体层(4)保持在所述固体(2)上；热加载所述容纳层(10)用于在所述固体(2)中尤其机械地产生应力，其中裂缝通过所述应力在所述固体(2)中沿着所述剥离平面(8)扩展，所述裂缝将所述第一固体层(4)与所述固体(2)分离；接着设置第二容纳层用于将另一固体层(5)保持在减小了所述第一固体层(4)的固体(2)上；在所述固体(2)中引入或产生缺陷，用于预设第二剥离平面(9)，沿着所述第二剥离平面将所述第二固体层(5)与所述固体(2)分离；热加载所述第二容纳层用于在所述固体(2)中尤其机械地产生应力，其中裂缝通过所述应力在所述固体(2)中沿着所述第二剥离平面(9)扩展，所述裂缝将所述第二固体层(5)与所述固体(2)分离。
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