[发明专利]工件的切断方法有效
| 申请号： | 201480056205.X | 申请日： | 2014-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN105636742B | 公开（公告）日： | 2017-06-23 |
| 发明（设计）人： | 上林佳一 | 申请（专利权）人： | 信越半导体株式会社 |
| 主分类号： | B24B27/06 | 分类号： | B24B27/06;B28D5/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人： | 谢顺星,张晶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明是一种工件的切断方法，其利用螺旋状地卷绕在多个线材导件之间且沿轴方向行进的钢线来形成钢线列，并将工件压抵至钢线列来实行工件的切断，其中，将使用于前次的工件的切断后的钢线再次使用来切断下一次的工件，该工件的切断方法相对于在前次的工件的切断中的钢线张力，将切断下一次的工件时的钢线张力设为87～95％的范围的值；相对于切断前次的工件时的新线供给量，将切断下次的工件时的新线供给量设为125％以上的范围的值，再次使用钢线来切断下一次的工件。由此，提供一种工件的切断方法，其将已使用于前次的工件切断中的使用过的钢线，以与前次的切断工件的条件不同的条件来切断工件，能够增加用同一条钢线能够切断的工件的个数，同时减少钢线发生断裂的情况，且抑制晶圆翘曲的加重。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 切断 方法 | ||
【主权项】：
一种工件的切断方法，其利用螺旋状地卷绕在多个线材导件之间且沿轴方向行进的钢线来形成钢线列，并将工件压抵至所述钢线列来实行所述工件的切断，其中，将使用于前次的工件的切断后的钢线再次使用来切断下一次的工件，而且，该工件的切断方法，相对于在所述前次的工件的切断中的钢线张力，将切断所述下一次的工件时的钢线张力设为87～95％的范围的值；并且，相对于所述切断前次的工件时的新线供给量，将所述切断下一次的工件时的新线供给量设为125％以上的范围的值，而再次使用所述钢线来切断所述下一次的工件。
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