[发明专利]利用压印法的聚酰亚胺的精细图案形成方法

摘要

提供与光刻法及激光加工等以往的聚酰亚胺加工技术相比，加工形状及其尺寸精度优异、且简便的聚酰亚胺的图案形成方法。在聚酰亚胺的精细图案形成中，作为聚酰亚胺，使用具有感光性的、能够在玻璃转变温度以下成形的溶剂可溶性的聚酰亚胺树脂组合物，并利用热压印法而图案化，并在热固化的方法中，在成形工序后从模具脱模之后，照射紫外线。

主权项

一种聚酰亚胺的精细图案形成方法，在聚酰亚胺膜的表面形成精细的凹凸图案，其特征在于，所述聚酰亚胺的精细图案形成方法包括：成膜工序，形成聚酰亚胺膜，所述聚酰亚胺膜由具有感光性的能够在玻璃转变温度以下成形的已酰亚胺化的溶剂可溶性聚酰亚胺的树脂组合物构成；热压印工序，将所述聚酰亚胺膜在玻璃转变温度以下的温度中加热，并通过形成有凹凸的模具按压而加压成形；冷却脱模工序，使所述聚酰亚胺膜和所述模具冷却而使所述模具从所述聚酰亚胺膜脱模；曝光工序，向所述聚酰亚胺膜照射紫外线而进行曝光；以及热处理工序，加热所述聚酰亚胺膜而使所述聚酰亚胺膜热固化，在所述热处理工序中，所述热固化是通过在从室温升高到热处理温度的中途将所述溶剂可溶性聚酰亚胺的树脂组合物在一定时间内保持于曝光后烘烤温度的两阶段加热而进行的。