[发明专利]可变照明傅立叶重叠关联成像设备、系统以及方法

摘要

某些方面涉及傅立叶重叠关联成像系统、设备以及方法，诸如，例如，高NA傅立叶重叠关联成像系统和反射模式NA傅立叶重叠关联成像系统。

主权项

1.一种傅立叶重叠关联成像系统，包括：可变照明器，其被配置成在不同的时间以多个入射角照亮样本；光学系统，其包括具有NA的透镜，所述透镜被配置成过滤从所述样本发出的光，其中，所述多个入射角和所述NA对应于傅立叶域中的多个重叠区域，所述多个重叠区域覆盖大于1.0的扩大的NA；辐射检测器，其被配置成获取多个强度图像，每个强度图像对应于所述多个入射角中的不同的入射角；以及处理器，其被配置成重建具有比所述强度图像的分辨率更高的分辨率的图像，其中重建所述更高的分辨率的图像包括使用强度图像测量结果来迭代地更新所述傅立叶域中的重叠区域，其中重建所述更高的分辨率的图像还包括从所述多个强度图像恢复相位信息。