[发明专利]压电元件、喷墨头、喷墨打印机以及压电元件的制造方法有效
| 申请号： | 201480058482.4 | 申请日： | 2014-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN105659401B | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 渋谷和树 | 申请（专利权）人： | 柯尼卡美能达株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;B41J2/14;B41J2/16;H01L41/09;H01L41/29;H01L41/31;H01L41/316;H01L41/43 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 金光华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 作为压电元件的致动器是将包含钛(Ti)的密接层(24)、包含铂(Pt)的下部电极(25)、压电薄膜(26)以及上部电极按照这个顺序形成在基板上而构成的。在下部电极(25)上析出构成密接层(24)的Ti粒子(24a)。构成下部电极(25)的Pt的晶体粒径是75nm以上且150nm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 喷墨 喷墨打印机 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压电元件，是将包含钛的密接层、包含铂的下部电极、压电薄膜以及上部电极按照这个顺序形成在基板上而成的压电元件，其特征在于，通过所述下部电极的铂的触媒作用而所述密接层的钛被氧化，从而在所述下部电极上析出有构成所述密接层的钛，在所述下部电极的内部，具有未露出到所述下部电极的表面的钛的粒子，构成所述下部电极的铂的晶体粒径是75nm以上且150nm以下。
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