[发明专利]光检测装置有效
申请号: | 201480058681.5 | 申请日: | 2014-10-31 |
公开(公告)号: | CN105683725B | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | 柴山胜己;笠原隆;广瀬真树;川合敏光 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01J3/26 | 分类号: | G01J3/26 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 分光传感器(1A)具备:法布里‑珀罗干涉滤波器(10),设置有使对应于第1镜(31)与第2镜(41)之间的距离而透过的光沿着相对方向(D)通过的开口(50a);光检测器(3),具有对通过了开口(50a)的光进行受光的受光部(3a);配线基板(2),安装有光检测器(3);多个隔离物(4),以与开口(50a)内的第1空间(S1)相连续并且在从相对方向(D)看的情况下包含第1空间(S1)的第2空间(S2)被形成于滤波器(10)与配线基板(2)之间的方式在配线基板(2)上支撑滤波器(10)。光检测器(3)被配置于第2空间(S2)内。受光部(3a)在从相对方向(D)看的情况下配置于第2空间(S2)中对应于第1空间(S1)的区域内。 | ||
搜索关键词: | 检测 装置 | ||
【主权项】:
1.一种光检测装置,其特征在于:具备:法布里‑珀罗干涉滤波器,具有使距离可变的第1镜以及第2镜,并且设置有使光沿着规定的方向通过的开口,该光对应于所述第1镜与所述第2镜之间的距离而透过;光检测器,具有对通过了所述开口的光进行受光的受光部;配线基板,安装有所述光检测器;以及支撑构件,以与所述开口内的第1空间相连续并且在从所述规定的方向看的情况下包含所述第1空间的第2空间被形成于所述法布里‑珀罗干涉滤波器与所述配线基板之间的方式在所述配线基板上支撑所述法布里‑珀罗干涉滤波器,所述光检测器被配置于所述第2空间内,所述受光部在从所述规定的方向看的情况下配置于所述第2空间中对应于所述第1空间的区域内,所述法布里‑珀罗干涉滤波器具备基板,所述第1镜以及所述第2镜被支撑于所述基板,所述第1镜被配置于所述基板的光入射侧,所述第2镜被配置于所述第1镜的光入射侧,在所述基板的光出射侧,以包含光透过区域的方式设置有所述开口。
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