[发明专利]具有改进型电容器的结构有效
| 申请号： | 201480059035.0 | 申请日： | 2014-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN105706234B | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 弗雷德里克·瓦龙;久伊·帕拉特 | 申请（专利权）人： | 村田整合被动式解决方案公司;原子能与替代能源委员会 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L49/02;H01G11/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 唐京桥;刘烨 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 金属‑绝缘体‑金属型电容器结构(1)，其包括基底(2)、设置在基底(2)上的第一电绝缘层(14)、设置在第一电绝缘层(14)上的下电极(6)、包括设置在下电极(6)上的多个孔的结构化金属层(12)、MIM电容器(4)，其包括设置在结构化金属层(12)上与下电极(6)相接触并在各孔内的第一导电层(18)、覆盖第一导电层(18)的介电层(20)、覆盖介电层(20)并与位于MIM电容器(4)上的上电极(8)相接触的第二导电层(24)以及设置在上电极(8)上的第二电绝缘层(16)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改进型 电容器 结构 | ||
【主权项】：
1.一种金属‑绝缘体‑金属型电容器结构(1)，其包括：‑基底(2)，‑设置在基底(2)上的第一电绝缘层(14)，‑设置在第一电绝缘层(14)上的下电极(6)，‑结构化金属层，设置在下电极(6)上，并且通过包括多个孔被结构化，所述多个孔通过电绝缘的外围的氧化层与产生这些孔的结构化金属层的其余部分电绝缘，所述电绝缘的外围的氧化层构成通过阳极刻蚀得到的孔绝缘基体(121)，‑金属‑绝缘体‑金属型电容器(4；41)，其包括设置在结构化金属层(12)上和所述结构化金属层(12)各孔中的第一导电层(18)、覆盖第一导电层(18)的介电层(20)、覆盖介电层(20)的第二导电层(24)，每个相关孔都包括由介电层(20)分隔开的第一导电层(18)和第二导电层(24)，‑设置在金属‑绝缘体‑金属型电容器(4)上的上电极(8)，‑设置在上电极(8)上的第二电绝缘层(16)，其特征在于，‑位于结构化金属层(12)各孔内的第一导电层(18)与下电极(6)相接触，‑位于结构化金属层(12)各孔内的第二导电层(24)与上电极(8)相接触，以及所述下电极(6)包括金属层(28)和刻蚀阻挡层(10)，所述刻蚀阻挡层(10)防止阳极刻蚀并位于下电极(6)的金属层(28)与孔绝缘基体(121)之间。
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