[发明专利]净化室设备的工作单元有效
| 申请号： | 201480059890.1 | 申请日： | 2014-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN105793972B | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | K.许格勒 | 申请（专利权）人： | 阿西斯自动系统股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 郭帆扬;宣力伟 |
| 地址： | 德国绍*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种净化室设备的工作单元(1)，其具有中央基础模块(2)、手操作装置(3)，并且可绕基础模块(2)旋转地具有用于位于手操作装置(3)的取用区域中的联接模块(5)的旋转支撑部(7)。 | ||
| 搜索关键词： | 净化 设备 工作 单元 | ||
【主权项】：
1.一种净化室设备的工作单元(1)，其具有带有中央的、静态的且能够绕中央旋转轴线(8)旋转的用于平面基材(4)的手操作装置(3)的基础模块(2)，待定位在所述手操作装置(3)的径向的取用区域中的带有端侧的供料孔的联接模块(5)，所述基础模块(2)的与所述手操作装置(3)同轴的外罩(15)和在所述外罩(15)中设置的、朝向在所述手操作装置(3)的取用区域中外侧地对接到所述外罩(15)处的联接模块(5)的径向的穿孔(16)，与所述手操作装置(3)同轴的旋转支撑部(7)，通过所述旋转支撑部(7)定位地承载所述联接模块(5)，以及在所述穿孔(16)和所述供料孔之间的闸组件(20)以及与这些孔相关联的封闭盖(18)，在相对于所述外罩(15)分别对接上的联接模块(5)情况中所述封闭盖(18)能够整体地通过调整装置(19)在其关闭位置和其打开位置之间移动，其中，所述闸组件布置在所述外罩(15)与相应的所述联接模块(5)之间的径向过渡区域中。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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