[发明专利]用于静电卡盘表面的垫设计有效
| 申请号： | 201480061349.4 | 申请日： | 2014-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN105706351B | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 戈文达·瑞泽;蔡振雄;罗伯特·T·海拉哈拉;凯瑟拉·拉马亚·纳伦德纳斯;曼朱纳塔·科普帕;罗斯·马歇尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H02N13/00 | 分类号： | H02N13/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 具体实施方式涉及静电卡盘表面，所述静电卡盘表面具有最小接触面积特征。更具体地，本发明的具体实施方式提供用于提供颗粒生成减少和基板和卡紧设备的磨损减少的静电卡盘组件，所述静电卡盘组件具有凸起伸长的表面特征图案。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 静电 卡盘 表面 设计 | ||
【主权项】：
1.一种用于对静电卡盘进行涂布的掩模，所述掩模包括：平坦构件，所述平坦构件包含选自由以下项组成的组中的材料：氮化硅、氮化铝、碳化硅和氧化锆，其中所述掩模具有位于所述掩模的中心区域的蛇形开口，并且所述蛇形开口具有中心笔直部分以及两个外部弯曲部分。
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