[发明专利]由具有高硅酸含量的钛和氟掺杂玻璃制造坯料的方法在审
| 申请号： | 201480061478.3 | 申请日： | 2014-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN105683102A | 公开（公告）日： | 2016-06-15 |
| 发明（设计）人： | S.奥克斯;K.贝克 | 申请（专利权）人： | 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 |
| 主分类号： | C03B19/06 | 分类号： | C03B19/06;C03B19/10;C03B20/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘维升;石克虎 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及由具有高硅酸含量及预定氟含量的钛掺杂玻璃制造用于EUV光刻法的坯料的方法，其中热膨胀系数在使用温度下尽可能稳定地保持为零。Ti-掺杂石英玻璃的热膨胀系数分布取决于多个影响因素。除绝对钛含量外，钛的分布以及其它掺杂元素，如氟的含量和分布非常重要。根据本发明提出一种方法，其包括产生氟掺杂TiO2-SiO2烟灰粒子并通过固结和玻璃化进一步加工成坯料的合成过程，其特征在于所述合成过程包括借助含硅和钛的起始物质的火焰水解形成TiO2-SiO2烟灰粒子的方法步骤和使所述TiO2-SiO2烟灰粒子在移动粉末床中暴露在含氟试剂中并转化成氟掺杂TiO2-SiO2烟灰粒子的后续方法步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 硅酸 含量 掺杂 玻璃 制造 坯料 方法 | ||
【主权项】：
由具有高硅酸含量及预定氟含量的钛掺杂玻璃制造用于EUV光刻法的坯料的方法，其包括制造卤素掺杂TiO2‑SiO2烟灰粒子(1')并通过固结和玻璃化进一步加工成坯料的合成过程，其特征在于所述合成过程包括借助含硅和钛的起始物质的火焰水解形成TiO2‑SiO2烟灰粒子(1)的方法步骤和使所述TiO2‑SiO2烟灰粒子(1)在移动粉末床(10)中暴露在含氟试剂中并转化成氟掺杂TiO2‑SiO2烟灰粒子(1')的后续方法步骤。
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