[发明专利]应用于微电子的整平剂、整平剂组合物及其用于金属电沉积的方法有效
| 申请号： | 201480061804.0 | 申请日： | 2014-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN106170484B | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 张芸;马涛;董培培;朱自方;陈晨 | 申请（专利权）人： | 苏州昕皓新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C07D311/84 | 分类号： | C07D311/84;C25D3/38 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 郭放;许伟群 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本公开涉及一种用于电沉积金属的整平剂化合物。所述化合物为式(I)的化合物或其盐： |
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| 搜索关键词： | 应用于 微电子 整平剂 组合 及其 用于 金属 沉积 方法 | ||
【主权项】：
1.式(I)的化合物：![]()
其中R1为O、S或NH；R2选自由甲氧基、乙氧基、‑烷基苯基组成的组，其中，所述‑烷基苯基中的烷基选自甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、叔丁基、异丁基或者仲丁基；R3和R4独立地选自由未取代的或取代的烷基、未取代的烷氧基、未取代的‑烷基羟基组成的组，所述未取代的烷基选自甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、叔丁基、异丁基、仲丁基，所述取代的烷基选自卤烷基‑、氨基烷基‑，所述卤烷基‑、氨基烷基‑中的烷基选自甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、叔丁基、异丁基、仲丁基，所述烷氧基为‑O‑烷基基团，所述‑O‑烷基基团中所述烷基选自甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、叔丁基、异丁基、仲丁基，所述‑烷基羟基中的烷基选自甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、叔丁基、异丁基、仲丁基；Y1、Y2、Y3、Y4、Y5、Y6、Y7和Y8独立地选自由氢、甲基、乙基、正丙基、异丙基、甲氧基、乙氧基、丙氧基组成的组；以及L为亚乙基。
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