[发明专利]采用具有可移除接口的电介质导管组件的等离子体生成源以及相关的组件和方法有效
| 申请号： | 201480062870.X | 申请日： | 2014-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN105746000B | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | S·T·吴;C·李;H·达奥;R·C·科特里尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H05H1/34 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 黄嵩泉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了采用具有可移除接口的电介质导管组件的等离子体生成源以及相关组件和方法。所述等离子体生成源(PGS)包含具有多个内部表面的封闭主体，所述内部表面形成内部腔室，所述内部腔室具有输入端口和输出端口以分别接收用于生成等离子体的前体气体以及排放所述等离子体。电介质导管组件可引导气体和等离子体远离可能生成粒子的内部表面。电介质导管组件包含第一和第二交叉导管段。电介质管组件进一步包含平行的导管段，所述平行的导管段从第二交叉导管段延伸至远端，所述远端无间隙地且可移除地与所述第一交叉导管段的第一交叉导管接口对准。以此方式，可容易地保养所述电介质导管组件，并且所述电介质导管组件减少离子生成并保持粒子生成远离所述输出端口。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 具有 接口 电介质 导管 组件 等离子体 生成 以及 相关 方法 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体生成系统，所述等离子体生成系统包括：封闭主体，所述封闭主体形成内部腔室、输入端口和输出端口；以及电介质导管组件，所述电介质导管组件设置在所述内部腔室中，所述电介质导管组件包括；第一交叉导管段，所述第一交叉导管段封闭与所述输入端口相邻的第一通道；第二交叉导管段，所述第二交叉导管段封闭与所述输出端口相邻的第二通道；以及至少两个平行的导管段，所述至少两个平行的导管段从所述第二交叉导管段延伸至远端，每一个平行的导管段都封闭与所述第二通道连通的内部空间，其中所述第一交叉导管段具有至少两个开口以接收所述平行的导管段的所述远端。
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