[发明专利]微反射镜装置

摘要

提出微反射镜装置，包括：第一弹簧‑质量振荡器，具有第一弹簧元件(2)和形成反射镜板(1)的振荡体；第二弹簧‑质量振荡器，具有驱动板(3)和第二弹簧元件(4)且经由第二弹簧元件(4)连接至支承装置(5、8、9)，其中第一弹簧‑质量振荡器经由第一弹簧元件(2)悬挂于第二弹簧‑质量振荡器；和驱动装置(11)，分配至驱动板且设计为使驱动板(3)振荡。振荡体(1)经由第一弹簧元件(2)双轴可运动地悬挂于驱动板(3)且驱动板(3)双轴可运动地连接至支承装置(5、8、9)，其中驱动装置(11)实施为双轴驱动器且设计为在双轴上驱动驱动板(3)以使振荡体(1)以正交本征模中的一者或接近该本征模在各情况下双轴振荡。

主权项

1.一种微反射镜装置，其包括：第一弹簧‑质量振荡器，包括形成反射镜板的振荡体且包括第一弹簧元件；第二弹簧‑质量振荡器，包括驱动板和第二弹簧元件并且经由所述第二弹簧元件连接至支承装置，其中，所述第一弹簧‑质量振荡器经由所述第一弹簧元件悬挂于所述第二弹簧‑质量振荡器；和驱动装置，所述驱动装置被分配至所述驱动板并且被设计用于激励所述驱动板进行振荡，其特征在于，所述振荡体经由所述第一弹簧元件以双轴的方式可运动地悬挂于所述驱动板，并且所述驱动板以双轴可运动的方式连接至所述支承装置，其中，所述驱动装置被设计为双轴驱动器，且被设计用于以双轴的方式驱动所述驱动板以使所述振荡体在具有其正交本征模中的一者或接近这些本征模的各情况下均以双轴的方式振荡，所述驱动板被设计为多个驱动板区段，所述多个驱动板区段同时形成所述第二弹簧元件，并且所述振荡体经由被设计为环形弹簧框架的且形成万向悬挂的至少两个第一弹簧元件悬挂在所述驱动板上。